Анализ элементного состава тонких слоев карбонитрида кремния методом ЭДС
Ю. М. Румянцев1, Н. И. Файнер2, Е. А. Максимовский3, Б. М. Аюпов4
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
2 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, nadezhda@niic.nsc.ru
3 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
4 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск
Ключевые слова: карбонитрид кремния, тонкие пленки, нанокристаллы, структура, элементный состав, энергодисперсионная спектроскопия
Страницы: 182-187
Аннотация
Рассматриваются особенности анализа элементного состава тонких пленок карбонитрида кремния методом энергодисперсионной спектроскопии (ЭДС). Пленки предварительно исследовали методами ИК спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС), растровой электронной (РЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ), рентгенодифракционным анализом с использованием синхротронного излучения (РФА-СИ) с целью получения данных об их химическом и фазовом составе, кристаллической структуре и морфологии поверхности. Изучено влияние толщины пленок, материала подложек и энергии электронного пучка на результаты энергодисперсионного анализа.
|
