ХАРАКТЕРИЗАЦИЯ СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ НАНОКЛАСТЕРОВ СИЛИЦИДА ЖЕЛЕЗА В ГЕТЕРОСИСТЕМАХ Si/FeSi МЕТОДОМ МАГНИТОЭЛЛИПСОМЕТРИИ
Н. Н. Косырев1, В. Н. Заблуда2, С. Н. Варнаков3, В. А. Швец4, С. В. Рыхлицкий5, Е. В. Спесивцев6, В. Ю. Прокопьев7
1 Учреждение Российской академии наук Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН, Красноярск, kosyrev@inbox.ru 2 Учреждение Российской академии наук Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН, Красноярск 3 Учреждение Российской академии наук Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН, Красноярск 4 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Новосибирск, shvets@isp.nsc.ru 5 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Новосибирск 6 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Новосибирск 7 Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Новосибирск
Ключевые слова: эллипсометрия, магнитооптический эффект Керра, молекулярно-лучевая эпитаксия
Страницы: 104-108
Аннотация
Исследованы начальные стадии роста пленок железа на монокристаллическом кремнии с помощью комбинированного метода магнитоэллипсометрии. Показано, что при толщине d < 1,2 нм на поверхности кремния происходит рост нанокластеров силицида железа в немагнитной фазе
|