НИЗКОВОЛЬТНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ПРОГРАММИРУЕМОЙ ПОЛЕМ ДИНАМИЧЕСКОЙ ДИФРАКЦИОННОЙ РЕШЁТКИ
Э. Г. Косцов, В. С. Соболев
Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1, kostsov@iae.nsk.su, sobolev@iae.nsk.su
Ключевые слова: микроэлектроника, микроэлектромеханика, микрооптоэлектромеханика, микрооптика, дифракционная решётка, электростатика
Страницы: 101-109
Аннотация
Описывается новый элемент управляемой полем дифракционной решётки (Grating Light ValveTM diffractive MOEMS device - GLV), который отличается от известных подобных элементов физическим принципом работы и конструкцией, а также значительно более низким управляющим напряжением, отсутствием гистерезиса и возможностью работы в аналоговом режиме. Представлены экспериментальные характеристики элемента GLV.
|