ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОСКОП-ПРОФИЛОМЕТР
Е. В. Сысоев, И. А. Выхристюк, Р. В. Куликов, А. К. Поташников, В. А. Разум, Л. М. Степнов
Учреждение Российской академии наук Конструкторско-технологический институт научного приборостроения Сибирского отделения РАН,
630058, г. Новосибирск, ул. Русская, 41,
evsml@mail.ru, uic@ngs.ru, rstalcker@ngs.ru, potash@tdisie.nsc.ru, rav@tdisie.nsc.ru, ste@tdisie.nsc.ru
Ключевые слова: оптический профилометр, сканирующий интерферометр частично когерентного света, нанорельеф, 3D-реконструкция, микрорельеф
Страницы: 119-128
Аннотация
Представлены структура и функциональные возможности цифрового оптического микроскопа-профилометра, работающего в двух режимах: микро- и наноизмерений. Принцип работы прибора основан на измерении фазовой функции волнового фронта света, рассеянного контролируемой поверхностью. Рассмотрены возможности программного обеспечения и технические характеристики микроскопа-профилометра.
|
