ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОВ УВЕЛИЧЕНИЯ ТОЧНОСТИ РАБОТЫ СИСТЕМЫ АВТОМАТИЧЕСКОЙ ФОКУСИРОВКИ КРУГОВОГО ЛАЗЕРНОГО ЗАПИСЫВАЮЩЕГО УСТРОЙСТВА
Д. Э. Денк1, Г. П. Полещук2
1 Институт технической оптики, Университет Штутгарта, denk@ito.uni-stuttgart.de 2 Учреждение Российской академии наук Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, poleshchuk@iae.nsk.su
Ключевые слова: лазерная запись, автоматическая фокусировка, дифракционная оптика, система автоматического регулирования
Страницы: 107-117
Аннотация
Рассмотрены особенности работы системы автоматической фокусировки кругового лазерного записывающего устройства CLWS-300IAE. Проведено исследование влияния погрешности фокусировки на процесс прямой лазерной записи дифракционных структур. Описан и экспериментально исследован цифровой адаптивный регулятор для системы автоматического регулирования фокусировки. Приведены алгоритмы работы регулятора, методика настройки и экспериментальные результаты.
|