СТРУКТУРА Ir и Ir-Al2O3 ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ В ПРИСУТСТВИИ КИСЛОРОДА
Н. В. Гельфонд1, Н. Б. Морозова2, И. К. Игуменов3, Е. С. Филатов4, С. А. Громилов5, Ю. В. Шубин6, Р. И. Квон7, В. С. Данилович8
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
2 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
3 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
4 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
5 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
6 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
7 Учреждение Российской академии наук Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
8 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
Ключевые слова: Ir и Ir-Al2O3 композиционные покрытия, химическое осаждение из паровой фазы, иридий(III), алюминий(III), трис-ацетилацетонаты
Страницы: 88-97
Аннотация
Методом химического осаждения из паровой фазы получены Ir и Ir-Al2O3 покрытия толщиной до 40 мкм на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3.
В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты иридия(III) и алюминия(III). Процессы осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии кислорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлены зависимости структуры и состава покрытий от условий их получения. Повышение температуры осаждения приводит к формированию Ir покрытий с рыхлой, несплошной структурой, увеличению размеров металлических кристаллитов и росту содержания кислорода в их составе. Увеличение концентрации паров прекурсора в зоне осаждения при постоянной температуре осаждения приводит к образованию Ir покрытий, состоящих из слоев с различной структурой (компактной, столбчатой и зернистой). Наиболее совершенную, компактную, сплошную структуру имеют смешанные Ir-Al2O3 покрытия, состоящие из кристаллитов металлического Ir и аморфного Al2O3, в которых проявляется выраженная текстура иридия в направлении [1 1 1]. Введение оксидной фазы в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов Ir вдвое.
|
