СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ МИКРО– И НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИКИ
Э. Г. Косцов
Институт автоматики и электрометрии СО РАН
kostsov@iae.nsk.su
Ключевые слова: микроэлектромеханика, МЕМS, электромеханическое преобразование энергии, микроэлектроника, микрооптика, оптоэлектромеханика, адаптивная оптика, генератор частоты, акселерометр, гироскоп, микроактюатор, наноэлектромеханика, ВЧ–коммутатор, ВЧ–фильтр, сенсоры
Страницы: 3-52
Аннотация
В современной микроэлектронике наиболее интенсивно развивающимся сектором являются микроэлектромеханические системы (MEMS — Micro-Electro-Mechanical Systems). Однако к настоящему времени большинство разработчиков электронной техники и пользователей устройств высоких технологий обладает недостаточной общей информацией о новом направлении микроэлектроники. В предлагаемой работе рассматривается современное состояние этого направления, широкие спектры его практических применений и перспективы дальнейшего развития, включая переход в нанометровый диапазон с созданием элементов наноэлектроники. Рассматриваются также особенности функционирования ряда конкретных MEMS-устройств, их характеристики, области и масштабы практических приложений.
|
