Прямое статистическое моделирование процессов образования и роста кластеров при расширении пара от внезапно включенного сферического источника
Н. Ю. Быков, Г. А. Лукьянов, О. И. Симакова
Центр перспективных исследований Санкт-Петербургского государственного политехнического университета, 195251 Санкт-Петербург E-mails: nbykov2006@yandex.ru, vakulova@inbox.ru
Ключевые слова: кластеры, математическое моделирование, конденсация, нанотехнология
Страницы: 101-109
Аннотация
Рассмотрены процессы образования кластеров кремния при расширении пара в окружающем инертном газе от внезапно включенного сферического источника. Для описания разлета пара и процесса конденсации используется метод прямого статистического моделирования. Предложена модель кластеризации, включающая описание реакций, приводящих к росту и распаду кластеров, и соответствующих процессов энергообмена. Рассмотрены основные закономерности формирования кластеров при разлете пара в газе.
|