ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ЗАПИСИ СКРЫТЫХ ИЗОБРАЖЕНИЙ В ПЛЕНКАХ ХРОМА ПРИ СИНТЕЗЕ ПРЕЦИЗИОНННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР
А. В. Кирьянов, В. Г. Никитин
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН alexey@tdisie.nsc.ru, vladikot@mail.ru
Ключевые слова: лазерный генератор изображений, технология записи скрытых изображений, прецизионные углоизмерительные структуры, фотоэлектрические угловые преобразователи
Страницы: 109-117
Аннотация
Проанализированы специфические источники погрешности формирования топологии углоизмерительных структур с помощью метода растрового сканирования на основе термохимической технологии записи скрытых изображений в пленках хрома. Установлена связь данного вида погрешностей с особенностями динамики нагрева пленок хрома лазерным излучением. Предложен и реализован алгоритм коррекции процесса записи структур, обеспечивающий точность синтеза углоизмерительных структур на уровне единиц угловых секунд.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее