ЭФФЕКТИВНЫЙ ПАРАЛЛЕЛЬНЫЙ АЛГОРИТМ ЧИСЛЕННОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ В МОНОСИЛАНОВОЙ ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА
В. А. Вшивков1, Г. Г. Лазарева2, А. В. Снытников3
1 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск, snytav@ssd.sscc.ru
2 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск
3 Институт вычислительной математики и математической геофизики СО РАН, г. Новосибирск
Страницы: 112-122
Аннотация
Представлена численная модель процессов в моносилановой плазме тлеющего разряда, предназначенная для моделирования работы реактора плазменного осаждения. Рассмотрен один тип ионов. Ионная и электронная компоненты плазмы моделируются кинетическими уравнениями со столкновениями. Создан эффективный параллельный алгоритм для моделирования процессов в моносилановой плазме и приведены его основные характеристики. Результаты численного моделирования с помощью используемой численной модели адекватны данным, полученным в ходе физических экспериментов.
|
