Поверхностная реконструкция диоксида кремния, стимулированная адсорбционным взаимодействием
Дульцев Ф.Н.
Институт физики полупроводников СО РАН, г. Новосибирск
Ключевые слова: моделирование адсорбционного комплекса, реконструкция поверхности, диоксид кремния, теплота адсорбции
Страницы: 236-241 Подраздел: ТЕОРИЯ СТРОЕНИЯ МОЛЕКУЛ И ХИМИЧЕСКОЙ СВЯЗИ
Аннотация
Методом молекулярной механики ММ2 рассчитан адсорбционыйадсорбционный комплекс, образующийся на поверхности диоксида кремния при адсорбции таких газов, как Н2О, О2, NH3, HF. Полученные результаты моделирования хорошо согласуются с экспериментальными, а также объясняют причину уменьшения толщины пленок при адсорбции и подтверждают высказанную нами гипотезу о реконструкции приповерхностного слоя, которая стимулируется адсорбированной молекулой.
|