ИЗМЕРЕНИЕ КВАНТОВОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ФОТОДЕТЕКТОРОВ В СПЕКТРАЛЬНОМ ДИАПАЗОНЕ 180–800 НМ
В. А. Лабусов1, 2, Д. О. Селюнин1, 2, И. А. Зарубин1, 2, Р. Г. Галлямов2
1, 2Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск 2ООО «ВМК-Оптоэлектроника», г. Новосибирск E-mail: labusov@vmk.ru
Страницы: 27-38
Аннотация
Создана автоматизированная установка для измерения квантовой эффективности многоэлементных фотодетекторов, применяемых в атомно-эмиссионном спектральном анализе. Приведены результаты измерений квантовой эффективности линеек фотодиодов типа БЛПП-369 с разными легирующими элементами и покровными слоями, а также линеек приборов с зарядовой связью (ПЗС) Sony ILX-526A. Показано, что квантовая эффективность линеек фотодиодов в области 180–360 нм составляет 0,3–0,5, что в 2–5 раз выше, чем у линеек ПЗС Sony ILX-526A с люминофором. Разброс значений квантовой эффективности фотодиодов одной линейки БЛПП-369 составляет не более 10 %, для линеек из разных партий он достигает 30 %.
|