ОПТИЧЕСКИЙ МЕТОД ОБНАРУЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ ДЕФЕКТОВ НА ПОВЕРХНОСТЯХ ВЫСОКОГО КЛАССА ЧИСТОТЫ
Е. В. Сысоев, И. В. Голубев, Р. В. Куликов
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск E-mail: evsml@mail.ru
Страницы: 111-116
Аннотация
Рассматривается метод обнаружения дефектов поверхности, основанный на анализе функции рассеяния света, применительно к задаче автоматического контроля поверхности оболочки тепловыделяющих элементов.
|