ПРЕЦИЗИОННЫЙ РАЗМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ ДИАМЕТРОВ КРУГОВЫХ ОТРАЖАЮЩИХ ЦИЛИНДРОВ
Ю. A. Лемешко, Ю. В. Чугуй, А. К. Яровая
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru
Страницы: 112-121
Аннотация
Обсуждается метод измерения диаметров круговых отражающих цилиндров путем обработки дифракционной картины, которая образуется в ближней зоне при освещении краев измеряемого объекта плоским монохроматическим пучком света. Разработана и экспериментально подтверждена эквивалентная математическая модель формирования дифракционного поля. Применение данной модели дало возможность получить аналитические зависимости, описывающие распределение поля от кругового отражающего цилиндра. Изучено влияние отражающей поверхности объекта на параметры дифракционной картины. Предложен высокоточный алгоритм, позволяющий вычислить диаметр цилиндрического изделия по его дифракционной картине Френеля с погрешностью менее 1 мкм.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее