МЕТОД ЧАСТИЧНОГО СКАНИРОВАНИЯ КОРРЕЛОГРАММ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТЕЙ
Е. В. Сысоев
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск E-mail: evsml@mail.ru
Страницы: 107-115 Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ
Аннотация
Представлен метод измерения микропрофиля поверхности с нанометровым разрешением, основанный на неполном сканировании коррелограмм в интерферометре Линника с частично когерентным источником света. Приведены экспериментальные результаты измерений толщины тонких пленок. Показано, что при сканировании коррелограмм в пределах 1–2 периодов может быть достигнуто разрешение по глубине лучше 1 нм.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее