АНАЛИЗ ОПТИЧЕСКИХ ТРИАНГУЛЯЦИОННЫХ СИСТЕМ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОФИЛЯ ЗЕРКАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ
С. В. Михляев
(Новосибирск)
Страницы: 78-91 Подраздел: ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ
Аннотация
Анализируются две основные схемы лазерных триангуляционных измерителей, применяемые для зондирования зеркальной поверхности с наклонной (удовлетворяющей принципу Шеймпфлюта) и ортогональной к оптической оси плоскостями фоторегистрации. Даны оценки погрешностей измерений и сравнительный анализ метрологических характеристик двух схем. Определены условия применимости принципа Шеймпфлюта. Показано, что при определенных соотношениях между параметрами оптической схемы и расходимостью светового пучка схема с ортогональной плоскостью фоторегистрации, несмотря на наличие дефокусировки, может обеспечить меньший уровень погрешности измерений, чем схема с наклонной плоскостью. Это преимущество может иметь место лишь при малых углах наклона зондируемой поверхности. Рассмотрены особенности применения триангуляционных систем для зондирования нестационарной поверхности.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее