МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ МЕМБРАННЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ АМПЛИТУДНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ
В. А. Гридчин, А. Д. Бялик
(Новосибирск)
Страницы: 56-63 Подраздел: МОДЕЛИРОВАНИЕ В ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЯХ
Аннотация
Рассматриваются вопросы моделирования профилированных кремниевых мембран как чувствительных элементов амплитудных волоконно-оптических датчиков давления. Оценена погрешность применения упрощенной модели, предложен вариант описания чувствительности микрозеркала волоконно-оптических датчиков в зависимости от ширины жесткого центра.
|