Одновременный перенос компонентов сложного оксида на подложку в потоке органического лиганда.
О. В. Поляков, А. М. Бадалян, В. И. Белый
"Институт неорганической химии СО РАН, пр-т Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)"
Аннотация
Представлен новый метод осаждения пленок из комплексных соединений, являющийся расширением технологии MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) на случай совмещенного синтеза-переноса. Продемонстрирована принципиальная возможность одновременного переноса трех металлов составляющих сложного оксида Y1Ba2Cu3O6+ на твердую подложку в виде органического комплекса в потоке лиганда (-дикетона). Перенос металлов осуществлен в соотношении, близком к исходной стехиометрии, с небольшим дефицитом по барию.
Статьи
1 - 1 из 1
Начало | Пред. |
1
|
След. | Конец
| По стр.
Наш сайт использует куки. Продолжая им пользоваться, вы соглашаетесь на обработку персональных данных в соответствии с политикой конфиденциальности. Подробнее