О. В. Поляков, А. М. Бадалян, В. И. Белый
Институт неорганической химии СО РАН,
пр-т Акад. Лаврентьева, 3, Новосибирск 630090 (Россия)
Представлен новый метод осаждения пленок из комплексных соединений, являющийся расширением технологии MOCVD (Metal Organic Chemical Vapour Deposition) на случай совмещенного синтеза-переноса. Продемонстрирована принципиальная возможность одновременного переноса трех металлов составляющих сложного оксида Y
1Ba
2Cu
3O
6+![](http://www.sibran.ru/biblio/delta.gif)
на твердую подложку в виде органического комплекса в потоке лиганда (
![](http://www.sibran.ru/biblio/b.gif)
-дикетона). Перенос металлов осуществлен в соотношении, близком к исходной стехиометрии, с небольшим дефицитом по барию.