О конденсации смеси аргон —моносилан в свободной струе
Р. Г. Шарафутдинов, С. Я. Хмель, А. Е. Зарвин*, Н. Г. Коробейщиков*, В. Ж. Мадирбаев*
Институт теплофизики им.С. С. Кутателадзе СО РАН, 630090 Новосибирск *Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск
Аннотация
Выполнено масс-спектрометрическое
исследование процесса конденсации
чистого Ar и смеси 5% SiH4 +
95% Ar в сверхзвуковой импульсной
свободной струе в широком интервале
давлений торможения. Установлено, что
малая добавка моносилана в аргоне
приводит к тому, что конденсация в смеси
начинается при меньших давлениях
торможения, чем в чистом аргоне, при
высоких давлениях торможения в потоке
образуются смешанные аргон-силановые
комплексы. Определена последовательность
стадий формирования кластеров в смеси.
|