Определение числа решений обратной задачи эллипсометрии в заданной области параметров.
В. Г. Половинкин, С. Н. Свиташева
Новосибирск
Страницы: 94-104
Аннотация
Предложен метод, позволяющий, не решая основного уравнения эллипсометрии, определить общее число решений обратной задачи эллипсометрии (ОЗЭ) для конкретной точки <!psi!>–<!delta!> плоскости для однослойной системы среда – поглощающая пленка – поглощающая подложка в заданной области искомых параметров. Метод основан на использовании свойств относительного коэффициента отражения как аналитической функции комплексного переменного. При решении ОЗЭ применение метода позволяет контролировать полноту найденных решений в заданной области.
|
