Структурирование поверхности медного образца плазмой тлеющего разряда
А.В. Петрова, А.И. Сафонов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, Россия
koltekreit@gmail.com
Ключевые слова: тлеющий разряд, обработка поверхности, медный образец, окисление, микроструктуры, наноструктуры, шероховатость
Страницы: 45-51
Аннотация
Показана возможность управления шероховатостью поверхности медного образца путем обработки ее плазмой тлеющего разряда. Установлено, что основным процессом, влияющим на морфологию и состав поверхности, является окисление. В результате обработки на поверхности медного образца формируются различные нано- и микроструктуры ее оксида. Показано, что в исследуемом диапазоне параметров давление рабочего газа оказывает более существенное влияние на формирование различных структур, чем плотность тока тлеющего разряда. В результате обработки наблюдаются различные стадии процесса окисления поверхности, вызванные различием ее температур
DOI: 10.15372/PMTF202315329
EDN: ADONQF
|
