Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 3.87.11.93
    [SESS_TIME] => 1711720158
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => c617fee1706885679f3d8657c04431aa
    [UNIQUE_KEY] => 696a3da5c35ea74dfca08ae95d2e19eb
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Автометрия

2019 год, номер 5

ИССЛЕДОВАНИЕ СПЕКТРАЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОГЛОЩЕНИЯ ИК-ИЗЛУЧЕНИЯ В ПЛЁНКАХ ДИОКСИДА КРЕМНИЯ ДЛЯ ДЕТЕКТОРОВ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ

А.Г. Паулиш1,2, А.К. Дмитриев2, А.В. Гельфанд1, С.М. Пыргаева3
1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, г. Новосибирск, Россия
paulish63@ngs.ru
2Новосибирский государственный технический университет, г. Новосибирск, Россия
dmitriev@corp.nstu.ru
3Алтайский государственный технический университет им. И. И. Ползунова, г. Барнаул, Россия
genphys@mail.ru
Ключевые слова: инфракрасная техника, приёмники теплового излучения, матрица ячеек Голея, диоксид кремния, ИК-спектроскопия, infrared technology, thermal radiation detectors, Golay cell array, silicon dioxide, IR spectroscopy
Страницы: 101-106

Аннотация

Проведены исследования спектральных характеристик поглощения плёнок диоксида кремния в ИК-диапазоне (λ = 8-14 мкм) в целях определения оптимальной толщины поглотителя в матричной структуре микроячеек Голея для создания высокочувствительных детекторов ИК-излучения. Показано, что спектр поглощения плёнок SiO2, нанесённых методом электронно-лучевого испарения, в диапазоне толщин до 2 мкм имеет структуру, которая отличается от известных спектров поглощения объёмного диоксида кремния, что, по-видимому, связано с перестройками в стехиометрии диоксида кремния на начальных стадиях формирования плёнки. Экспериментально подтверждено, что интегральное поглощение в нанесённых плёнках в заданном спектральном диапазоне близко к линейной зависимости от толщины и на порядок меньше величины, полученной расчётом на основе опубликованных данных для объёмного SiO2.

DOI: 10.15372/AUT20190514