МЕТОД КОНТРОЛЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПРЕЦИЗИОННЫХ СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ НА КРУГОВЫХ ЛАЗЕРНЫХ ЗАПИСЫВАЮЩИХ СИСТЕМАХ
Р.В. ШИМАНСКИЙ
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Hовосибирск, Россия
shimansky@iae.nsk.su
Ключевые слова: метод контроля точности, прецизионные синтезированные структуры, круговая лазерная записывающая система, радиальная координата, координатные метки, accuracy control method, precision synthesized structures, circular laser writing system, radial coordinate, coordinate marks
Страницы: 113-119
Аннотация
Разработан и исследован метод контроля точности изготовления прецизионных синтезированных структур на круговых лазерных записывающих системах с использованием специализированных микроструктур, формируемых по двум ортогональным направлениям. Данные микроструктуры состоят из двух частей, одна из которых формируется перед записью прецизионной структуры, а вторая - во время записи структуры. Сдвиг между первой и второй частью микроструктуры позволяет определить ошибки дрейфа, сдвига подложки и другие по каждой из координат. Метод даёт возможность повысить точность и достоверность сертификации изготовления прецизионных синтезированных структур.
DOI: 10.15372/AUT20190313 |
