Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона

В.О. Константинов, В.Г. Щукин, Р.Г. Шарафутдинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
konstantinov@itp.nsc.ru
Ключевые слова: зондовая диагностика, электронно-пучковая плазма, электронная пушка с полым катодом, probe diagnostics, electron-beam plasma, hollow cathode electron gun
Страницы: 115-122

Аннотация

Представлены результаты измерений температуры и концентрации вторичных электронов в свободной струе аргона, активированной в электронно-пучковой плазме, которые проводились с помощью двойного электростатического зонда Ленгмюра. На прототипе холодного плазмотрона при энергии первичного пучка 1 кэВ получена струя плотной холодной плазмы с поперечным размером, приблизительно равным 80 мм, и параметрами, при которых возможно осаждение слоев кремния с необходимыми характеристиками в форвакуумном диапазоне давлений.

DOI: 10.15372/PMTF20180514
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину