Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Влияние расхода газа-предшественника на скорость роста фторполимерного покрытия при осаждении методом HWCVD

А.И. Сафонов1, В.С. Суляева2, А.Л. Богословцева1, Н.И. Тимошенко1
1Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
safonov@itp.nsc.ru
2Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
veronica@niic.nsc.ru
Ключевые слова: фторполимер, тонкие пленки, метод HWCVD, газодинамический режим течения, катализатор, fluoropolymer, thin films, HWCVD method, gas dynamic flow regime, catalyst
Страницы: 87-92

Аннотация

Экспериментально исследован процесс формирования фторполимерного покрытия методом химического осаждения. Обнаружено, что с увеличением расхода газа-предшественника происходит существенное уменьшение скорости роста покрытия. Выполнен анализ условий осаждения, проведена оценка газодинамических параметров процесса. Показано, что результаты оценок согласуются с экспериментальными данными.

DOI: 10.15372/PMTF20180510
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину