Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование

Р.Г. Шарафутдинов, П.А. Сковородко, В.Г. Щукин, В.О. Константинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
molkin@itp.nsc.ru
Ключевые слова: свободная струя, реактор, моделирование, метод DSMC, тонкие пленки кремния, электронно-пучковая плазма, плазмохимическое осаждение, free jet, reactor, simulation, DSMC method, thin silicon films, electron-beam plasma, plasma-chemical deposition
Страницы: 22-30

Аннотация

Представлены результаты экспериментального исследования, численного моделирования и анализа в рамках газодинамической модели процесса осаждения пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода. Разработана численная модель истекающих из кольцевого соплового блока и входящих в реактор потоков газовых смесей, которая позволяет определить распределение толщин пленок по поверхности подложек, размещенных в реакторе, и удовлетворительно описывает полученные экспериментальные данные.

DOI: 10.15372/PMTF20180503
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину