Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.196.114.118
    [SESS_TIME] => 1711688894
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 0a19729f1e9e221f8604c7e30eb08c15
    [UNIQUE_KEY] => f7e40affd03fef74aa0e39c04aea412c
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Прикладная механика и техническая физика

2018 год, номер 5

Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование

Р.Г. Шарафутдинов, П.А. Сковородко, В.Г. Щукин, В.О. Константинов
Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН, Новосибирск, 630090, Россия
molkin@itp.nsc.ru
Ключевые слова: свободная струя, реактор, моделирование, метод DSMC, тонкие пленки кремния, электронно-пучковая плазма, плазмохимическое осаждение, free jet, reactor, simulation, DSMC method, thin silicon films, electron-beam plasma, plasma-chemical deposition
Страницы: 22-30

Аннотация

Представлены результаты экспериментального исследования, численного моделирования и анализа в рамках газодинамической модели процесса осаждения пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода. Разработана численная модель истекающих из кольцевого соплового блока и входящих в реактор потоков газовых смесей, которая позволяет определить распределение толщин пленок по поверхности подложек, размещенных в реакторе, и удовлетворительно описывает полученные экспериментальные данные.

DOI: 10.15372/PMTF20180503