ФАЗОВЫЙ СОСТАВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ОКСИДНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ HfO2, ЛЕГИРОВАННОГО ЛАНТАНОМ И СКАДИЕМ
Т.П. Смирнова, Л.В. Яковкина, В.О. Борисов, М.С. Лебедев
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
yakovk@niic.nsc.ru
Ключевые слова: пленки, легирование, твердые растворы в наносистемах La-Hf-O и Sc-Hf-O, микроструктура
Страницы: 1623-1630
Аннотация
Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, рентгеновской дифракции и высокоразрешающей просвечивающей электронной микроскопии (при профилировании элементного и фазового состава образцов по толщине) исследованы элементный, фазовый состав, структура и микроструктура пленок, синтезированных в системах La-Hf-O и Sc-Hf-O из металлоорганических летучих соединений. Установлена зависимость фазового состава и микроструктуры пленок от концентрации легирующего редкоземельного элемента. Найдено, что легирование оксида гафния лантаном и скандием приводит к образованию твердых растворов высокотемпературной кубической модификации. В нанокристаллической системе Hf-La-O установлены условия получения фазы пирохлора.
|
