Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2017 год, номер 8

ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ЗАВИСИМОСТИ ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВОГО СОСТАВА ПЛЕНОК ДИОКСИДА ВАНАДИЯ, ПОЛУЧЕННЫХ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

В.Р. Шаяпов1, Л.В. Яковкина1, Н.В. Булина2, Н.А. Черникова1
1Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
shayapov@niic.nsc.ru
2Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: диоксид ванадия, пленки, химическое осаждение из газовой фазы, рентгенофазовый анализ, фазовый переход, оптические свойства
Страницы: 1566-1572

Аннотация

Методом химического осаждения при пониженном давлении из паров ацетилацетоната ванадила на подложках монокристаллического кремния Si(100) получены однофазные пленки диоксида ванадия, содержащие моноклинную фазу M1. Методом рентгеновской дифракции проведено исследование изменения фазового состава пленок при нагревании до 90 °C. Установлено, что в области температур 60-70 °C моноклинная фаза переходит в тетрагональную R. При более высоких температурах наблюдается только тетрагональная фаза. Методами спектрофотометрии отражения и эллипсометрии определены температурные зависимости проявляющих гистерезис оптических свойств пленок. Спектры отражения в области длин волн менее 600 нм почти нечувствительны к изменениям температуры. Коэффициенты отражения и экстинкции после линейной нормировки хорошо согласуются с изменениями фазового состава.
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину