Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2017 год, номер 8

ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ РЕАКЦИОННОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В СИСТЕМЕ Ta-C-Si-O-F

В.В. Лозанов1, Н.И. Бакланова1, Д.А. Пирязев2
1Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН, Новосибирск, Россия
Lozanov.25@gmail.com
2Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: термодинамическое моделирование, осаждение из газовой фазы, карбид тантала, оксофторид тантала, монокристалл
Страницы: 1527-1533

Аннотация

Экспериментально и теоретически исследованы процессы реакционного осаждения карбидов тантала в системе Ta-C-Si-O-F. Показано, что SiO2 оказывает существенное влияние на процесс карбидообразования. Это выражается в уменьшении эффективности переноса тантала из зоны источника в зону кристаллизации, в возможности двустороннего транспорта тантала на углерод и углерода на тантал, в усложнении состава конденсированных фаз, находящихся в равновесии с газовой фазой. Рассмотрены вопросы получения монокристаллического оксофторида тантала.
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину