Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 18.119.105.239
    [SESS_TIME] => 1713508324
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => f6477b71baa5f4945de7cc6db0e1ef0c
    [UNIQUE_KEY] => cec00903c35070a0f4edc39816f1b0b0
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2017 год, номер 8

ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ РЕАКЦИОННОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ В СИСТЕМЕ Ta-C-Si-O-F

В.В. Лозанов1, Н.И. Бакланова1, Д.А. Пирязев2
1Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН, Новосибирск, Россия
Lozanov.25@gmail.com
2Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, Новосибирск, Россия
Ключевые слова: термодинамическое моделирование, осаждение из газовой фазы, карбид тантала, оксофторид тантала, монокристалл
Страницы: 1527-1533

Аннотация

Экспериментально и теоретически исследованы процессы реакционного осаждения карбидов тантала в системе Ta-C-Si-O-F. Показано, что SiO2 оказывает существенное влияние на процесс карбидообразования. Это выражается в уменьшении эффективности переноса тантала из зоны источника в зону кристаллизации, в возможности двустороннего транспорта тантала на углерод и углерода на тантал, в усложнении состава конденсированных фаз, находящихся в равновесии с газовой фазой. Рассмотрены вопросы получения монокристаллического оксофторида тантала.