Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 5

АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ ПРИБОРЫ ВНИИОФИ

Г.Н. Вишняков, Г.Г. Левин, В.Л. Минаев
Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений, 119361, Москва, ул. Озёрная, 46
vish@vniiofi.ru
Ключевые слова: интерферометр, интерферометр Линника, интерференционный микроскоп, метод фазовых шагов, interferometer, Linnik interferometer, interference microscope, phase stepping method
Страницы: 131-138
Подраздел: ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ И ПРИБОРЫ

Аннотация

Дан обзор современной аппаратуры для автоматизированных интерференционных измерений, разработанной во ФГУП «ВНИИОФИ». Представлены три типа интерференционных микроскопов, основанных на схемах интерферометра Линника, Тваймана - Грина и Физо с использованием метода фазовых шагов.

DOI: 10.15372/AUT20170513
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину