Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2017 год, номер 1

РЕАЛИЗАЦИЯ ФИЛЬТРОВ ВЫСОКИХ ЧАСТОТ СУБТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ВЫСОКОАСПЕКТНЫХ ПОЛИМЕРНЫХ СТРУКТУР

С.А. Кузнецов1,2,3, А.Н. Генцелев1, С.Г. Баев4
1Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 11
serge_smith@ngs.ru
2Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2
3«Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники», 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1
4Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Коптюга, 1
baev@iae.nsk.su
Ключевые слова: рентгеновская литография, высокоаспектные микроструктуры, фильтры высоких частот, X-ray lithography, high-aspect microstructures, high-frequency filters
Страницы: 107-116
Подраздел: НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ

Аннотация

Представлен технологический подход к реализации эффективных квазиоптических фильтров типа high-pass субтерагерцового диапазона частот электромагнитного спектра с использованием высокоаспектных псевдометаллических структур. Подход основан на микроструктурировании сплошного полимерного слоя из полиметилметакрилата посредством синхротронной рентгеновской литографии с последующей металлизацией всей поверхности структуры. Приведены пример изготовленного образца и операционные характеристики фильтра high-pass c частотой отсечки 0,275 ТГц, который имеет толщину 1 мм и сформирован гексагонально упакованными сквозными отверстиями шестиугольной формы, разделёнными перемычками шириной 70 мкм. Представлены электродинамический анализ и принципы дизайна структур high-pass.

DOI: 10.15372/AUT20170113
Добавить в корзину
Товар добавлен в корзину