ВЛИЯНИЕ СТРУКТУРЫ И МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПРИПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ МОНОКРИСТАЛЛА НИОБАТА ЛИТИЯ НА ПРОЦЕСС ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ СХЕМ
А.В. Сосунов, Р.С. Пономарев, В.А. Юрьев, А.Б. Волынцев
Пермский государственный национальный исследовательский университет, 614990, г. Пермь, ул. Букирева, 15
alexeisosunov@gmail.com
Ключевые слова: ниобат лития, приповерхностный слой, плотность дислокации, структурные дефекты, механические свойства, интегрально-оптическая схема, lithium niobate, surface layer, dislocation density, structural defects, mechanical properties, integrated optical circuit
Страницы: 100-106
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Аннотация
Показано, что приповерхностный слой монокристалла ниобата лития глубиной до 15 мкм значительно отличается от остального объёма материала по составу, структуре и механическим свойствам. Указанные отличия обусловлены воздействием резки, шлифовки и полировки пластин ниобата лития, в результате чего в приповерхностном слое повышается плотность точечных дефектов и дислокаций. Рост плотности структурных дефектов приводит к неконтролируемому изменению условий формирования волноводов и дрейфу характеристик интегрально-оптических схем. Полученные результаты имеют большое значение в производстве интегрально-оптических схем на основе ниобата лития.
DOI: 10.15372/AUT20170112 |
