Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Array
(
    [SESS_AUTH] => Array
        (
            [POLICY] => Array
                (
                    [SESSION_TIMEOUT] => 24
                    [SESSION_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [MAX_STORE_NUM] => 10
                    [STORE_IP_MASK] => 0.0.0.0
                    [STORE_TIMEOUT] => 525600
                    [CHECKWORD_TIMEOUT] => 525600
                    [PASSWORD_LENGTH] => 6
                    [PASSWORD_UPPERCASE] => N
                    [PASSWORD_LOWERCASE] => N
                    [PASSWORD_DIGITS] => N
                    [PASSWORD_PUNCTUATION] => N
                    [LOGIN_ATTEMPTS] => 0
                    [PASSWORD_REQUIREMENTS] => Пароль должен быть не менее 6 символов длиной.
                )

        )

    [SESS_IP] => 54.166.223.204
    [SESS_TIME] => 1711652843
    [BX_SESSION_SIGN] => 9b3eeb12a31176bf2731c6c072271eb6
    [fixed_session_id] => 058ce1d6f294842ba0c03c4b451b1635
    [UNIQUE_KEY] => 91c4ff1f9257b0f84ef094b16372b4d8
    [BX_LOGIN_NEED_CAPTCHA_LOGIN] => Array
        (
            [LOGIN] => 
            [POLICY_ATTEMPTS] => 0
        )

)

Поиск по журналу

Журнал структурной химии

2010 год, номер 1

СТРУКТУРА Ir и Ir-Al2O3 ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ В ПРИСУТСТВИИ КИСЛОРОДА

Н. В. Гельфонд1, Н. Б. Морозова2, И. К. Игуменов3, Е. С. Филатов4, С. А. Громилов5, Ю. В. Шубин6, Р. И. Квон7, В. С. Данилович8
1 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
2 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
3 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
4 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
5 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
6 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
7 Учреждение Российской академии наук Институт катализа им. Г.К. Борескова СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
8 Учреждение Российской академии наук Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН, filatov@niic.nsc.ru
Ключевые слова: Ir и Ir-Al2O3 композиционные покрытия, химическое осаждение из паровой фазы, иридий(III), алюминий(III), трис-ацетилацетонаты
Страницы: 88-97

Аннотация

Методом химического осаждения из паровой фазы получены Ir и Ir-Al2O3 покрытия толщиной до 40 мкм на стальных подложках, предварительно покрытых слоем Al2O3.
В качестве исходных соединений были использованы трис-ацетилацетонаты иридия(III) и алюминия(III). Процессы осаждения проводили при атмосферном давлении в присутствии кислорода. Полученные покрытия изучены методами рентгеновской дифракции, рентгенофотоэлектронной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии. Установлены зависимости структуры и состава покрытий от условий их получения. Повышение температуры осаждения приводит к формированию Ir покрытий с рыхлой, несплошной структурой, увеличению размеров металлических кристаллитов и росту содержания кислорода в их составе. Увеличение концентрации паров прекурсора в зоне осаждения при постоянной температуре осаждения приводит к образованию Ir покрытий, состоящих из слоев с различной структурой (компактной, столбчатой и зернистой). Наиболее совершенную, компактную, сплошную структуру имеют смешанные Ir-Al2O3 покрытия, состоящие из кристаллитов металлического Ir и аморфного Al2O3, в которых проявляется выраженная текстура иридия в направлении [1 1 1]. Введение оксидной фазы в состав покрытия приводит к уменьшению размеров кристаллитов Ir вдвое.