Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2011 год, номер 6

ГОЛОГРАФИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕРМОДЕФОРМАЦИЙ ОБЪЕКТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

Л. А. Борыняк, Ю. К. Непочатов, Ю. Г. Пейсахович, Н. Ю. Петров
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Новосибирский государственный технический университет»
borynyak_leonid@mail.ru, bor@ref.nstu.ru, yugp@rambler.ru, Antofagus@mail.ru
Ключевые слова: голографическая интерферометрия, измерения термомеханических деформаций, твердотельная электроника, поляризационный метод контроля, тензометрия, силовая электроника
Страницы: 72-81

Аннотация

Представлены результаты исследования элементов твердотельной электроники методом голографической интерферометрии. Приведены примеры измерения термодеформаций реальных изделий, контроля технологических процессов при производстве СИТ-транзисторов и гибридных интегральных схем сверхвысокой частоты.