Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2011 год, номер 2

ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ ДВИЖУЩИХСЯ ОБЪЕКТОВ

В. А. Швец
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН
shvets@isp.nsc.ru
Ключевые слова: эллипсометрия, аберрация света, эффект Доплера, коэффициенты отражения
Страницы: 79-87

Аннотация

Рассмотрены особенности отражения поляризованного света от поверхности, которая движется относительно наблюдателя со скоростью, сравнимой со скоростью света. Коэффициенты отражения и эллипсометрические параметры движущегося образца изменяются вследствие преобразования угла падения и длины волны света и зависят от ориентации вектора скорости относительно нормали поверхности и направления волнового вектора падающей волны. Представлены частные случаи взаимной ориентации этих векторов. Показано, что если вектор скорости лежит в плоскости образца и перпендикулярен плоскости падения света, то изотропная отражающая поверхность проявляет анизотропные свойства. Сделана оценка предельной минимальной скорости, при которой можно обнаружить эффект анизотропии.