Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2009 год, номер 4

ФЕНОМЕНОЛОГИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ОБРАЗОВАНИЯ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК КРЕМНИЯ ПРИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ ОСАЖДЕНИИ

П. Л. Новиков1, Алессия Ле Донне2, Сильвия Череда2, Лео Мильо2, Серджио Пиццини2, Симона Бинетти2, Маурицио Ронданини3, Карло Каваллотти3, Даниел Крастина4, Тамара Моисеев4, Ханс Вон Канел4, Джованни Изелла4, Франческо Монталенти2
1 Институт физики полупроводников СО РАН им. А. В. Ржанова
novikov@isp.nsc.ru
2 Dipartimento di Scienza dei Materiali and L-NESS, Università di Milano-Bicocca
alessia.ledonne@mater.unimib.it
3 Dipartimento di Chimica, Materiali, e Ingegneria Chimica "G. Natta", Politecnico di Milano
maurizio.rondanini@polimi.it
4 Dipartimento di Fisica and L-NESS, Politecnico di Milano
danny@chrastina.net

Ключевые слова: плазмохимическое осаждение, нанокристаллический кремний, моделирование, рамановская спектроскопия
Страницы: 49-55

Аннотация

Представлен теоретический и экспериментальный анализ степени кристалличности в нанокристаллических пленках, выращенных низкоэнергетическим плазмохимическим осаждением. Проанализирована роль ключевых параметров, таких как температура, плотность потока силана и доля H2 в газовой смеси. Разработана атомистическая модель Монте-Карло, в которой вероятность кристаллизации зависит от локального окружения кристаллического зародыша. На основе модели Монте-Карло проведено моделирование роста нанокристаллической пленки. При использовании единственного подгоночного параметра достигнуто хорошее согласие между теорией и экспериментом.