Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2005 год, номер 6

Повышение точности френелевского метода измерения размеров при использовании частично когерентного освещения

Ю. В. Чугуй, Н. А. Яковенко, М. Д. Ялуплин
Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, Кубанский государственный университет, E-mail: chugui@tdisie.nsc.ru
Страницы: 13-22
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Исследуются способы повышения точностных характеристик френелевского метода измерений при использовании частично когерентного освещения. Оценена систематическая погрешность измерения, вызванная интерференцией дифракционных краев объекта. Предложен способ повышения точности френелевского метода в нижнем измерительном диапазоне.