Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 5

Метод измерения размеров объектов в когерентном свете на основе преобразования френеля

Ю.В. Чугуй, Н.А. Яковенко, М..Д. Ялуплин
(Краснодар – Новосибирск)
Страницы: 38–55
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Исследуются точностные характеристики оптического метода измерений размеров объектов на основе их дифракционных картин Френеля. Аналитически оценено влияние неравномерного освещения контролируемого объекта на точность определения его границ. Предложен эффективный алгоритм снижения погрешности измерения (вызванной этим фактором), который учитывает значения амплитуды и производной освещающего поля в окрестности границ объекта, что позволяет уменьшить ее уровень в десятки раз.