Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2004 год, номер 5

Измерение локальных отклонений профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света

Е.В. Сысоев, И.В. Голубев, Ю.В. Чугуй, В.А. Шахматов
(Новосибирск)
Страницы: 4–13
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Рассмотрен оптико-электронный метод измерения профиля поверхности на основе интерференции частично когерентного света. Разработана промышленная система измерения дефектов поверхности. Приведены блок-схема и технические характеристики системы. Предложен метод оценки глубины профиля поверхности с использованием полизональной интерференции частично когерентного света. Приведены результаты экспериментальной проверки метода.