Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 6

ПОГРЕШНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ДИФРАКЦИОННЫХ СТРУКТУР ЛАЗЕРНЫМ ТЕРМОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ ЗАПИСИ

А. Г. Полещук
(Новосибирск)
Страницы: 39–45
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Проведена оценка искажений геометрических размеров простейших дифракционных структур, записываемых термохимическим методом в пленке хрома (толщиной 80–100 нм) движущимся сфокусированным лазерным пучком. Экспериментально показано, что мощность записывающего лазерного пучка должна поддерживаться с точностью 2–3 % для формирования структур с погрешностями геометрических размеров менее 0,1 мкм.