Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

2003 год, номер 6

ИНСТРУМЕНТАЛЬНАЯ ПОГРЕШНОСТЬ ДИФРАКЦИОННОГО ИНТЕРФЕРОМЕТРА

В. П. Коронкевич, Г. А. Ленкова
(Новосибирск)
Страницы: 26–38
Подраздел: ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ, ЭЛЕМЕНТЫ И СИСТЕМЫ

Аннотация

Проведены аналитические исследования полной и минимизированной инструментальных погрешностей дифракционного интерферометра с общим ходом интерферирующих лучей. Интерферометр основан на зонной пластинке и предназначен для контроля формы поверхностей и зеркал 2-го порядка. В анализируемой схеме интерферируют неинвертированные волновые фронты. Показано, что характер изменения инструментальной погрешности относительно координат контролируемой поверхности не зависит от значения ее конического параметра. При фокусном расстоянии зонной пластинки, значительно меньшем радиуса кривизны поверхности, контроль сферических деталей осуществляется нулевым методом, а при контроле асферических деталей в результаты измерений вводятся предварительно рассчитанные поправки. Полученная зависимость между величиной смещения зеркала и инструментальной погрешностью позволяет рассчитать допустимую точность установки зеркала.