Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

Поиск по журналу

Автометрия

1999 год, номер 4

Определение числа решений обратной задачи эллипсометрии в заданной области параметров.

В. Г. Половинкин, С. Н. Свиташева
Новосибирск
Страницы: 94-104

Аннотация

Предложен метод, позволяющий, не решая основного уравнения эллипсометрии, определить общее число решений обратной задачи эллипсометрии (ОЗЭ) для конкретной точки <!psi!>–<!delta!> плоскости для однослойной системы среда – поглощающая пленка – поглощающая подложка в заданной области искомых параметров. Метод основан на использовании свойств относительного коэффициента отражения как аналитической функции комплексного переменного. При решении ОЗЭ применение метода позволяет контролировать полноту найденных решений в заданной области.