Получение объемных образцов ITO-керамики взрывным компактированием и спеканием нанопорошков
Ю. Цз. Чжан, С. Цз. Ли, Г. Л. Сунь, С. Х. Ван
Технологический университет Даляня, Далянь, 116024 Ляонин,
Ключевые слова: ITO-керамика, взрывная консолидация, нанопорошки, спекание.
Страницы: 114-122
Аннотация
Ультраплотные ITO (оксид индия с добавкой олова) керамические мишени являются необходимым материалом в производстве оптико-электрических пленок способом распыления. Трудность изготовления мишеней состоит в том, что при высокой температуре ITO-керамика распадается. В данной работе коммерческие нанопорошки ITO-керамики использованы для взрывного компактирования в двух различных сборках и с различными взрывчатыми веществами. Согласно данным эксперимента скорость ударной волны должна быть меньше 4000 м/с, а ударное давление больше 6 и даже 12 ГПа для того, чтобы получить хорошую консолидацию. Образцы быстро спекались при высокой температуре после ударной обработки. С помощью дифференциального термического анализа была определена наиболее подходящая температура спекания ITO-образцов после взрывного компактирования — ≈1000°. Изображения образцов, полученные на сканирующем электронном микроскопе, показали, что ITO-керамика распадалась и сублимировалась при высокой температуре. Измерены оэффициенты расширения: для образцов, спеченных при температуре 1000°, αl = 7.81 · 10-6K-1, при температуре 900° — αl = 8.8 · 10-6 K-1; для коммерческих образцов, полученных горячим изостатическим прессованием, αl = 6 . 89 ·: 10-6 K-1.
|
