Численное моделирование газодинамической проводимости микроканалов с учетом структуры их поверхности
А. И. Ухов1, Б. Т. Породнов1, С. Ф. Борисов2
1 Уральский государственный технический университет, 620002 Екатеринбург
E-mail: sanek_uhov@mail.ru
2 Уральский государственный университет, 620083 Екатеринбург
Ключевые слова: течение разреженного газа в микроканалах, метод пробной частицы Монте-Карло, взаимодействие газа с поверхностью, индикатрисы рассеяния, атомно-силовая микроскопия
Страницы: 20-27
Аннотация
Методом пробной частицы исследовано влияние структуры поверхности микроканалов на свободномолекулярное течение газа. Расчеты выполнены для каналов, поверхность которых либо получена путем статистического моделирования, либо восстановлена по данным атомно-силовой микроскопии реальных поверхностей. Рассмотрены зависимости рассеяния монохроматического молекулярного пучка от угла падения и средней высоты поверхностной микронеровности. Показано, что разработанная методика позволяет получать функцию распределения частиц, отраженных от шероховатой поверхности, и использовать ее в граничных условиях в задачах динамики разреженного газа.
|
