НОВЫЕ МЕТОДЫ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОАПЕРТУРНЫХ КОМПЬЮТЕРНО-СИНТЕЗИРОВАННЫХ ГОЛОГРАММ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ЭТАЛОННЫХ ВОЛНОВЫХ ФРОНТОВ В ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ
В.П. Корольков, Р.К. Насыров, А.Г. Седухин, Д.А. Белоусов, Р.И. Куц
Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
korolkov@iae.nsk.su
Ключевые слова: компьютерно-синтезированные голограммы, эталонный волновой фронт, интерферометрия, оптический контроль, лазерная термохимическая технология, прямая лазерная запись, computer-synthesized holograms, reference wave front, interferometry, optical control, thermochemical laser technology, direct laser recording
Страницы: 42-54
Аннотация
Применительно к задаче интерферометрического контроля сферических и асферических поверхностей с высокими угловыми апертурами проведён анализ факторов, вызывающих паразитные искажения интерферограмм в системах контроля на базе эталонных однокомпонентных высокоапертурных компьютерно-синтезированных голограмм (КСГ), которые выполнены на плоских подложках и имеют бинарно-фазовую структуру. Для совершенствования качества таких КСГ использованы методы, средства и регистрирующие материалы (плёнки титана и хрома), пригодные для технологии прямой лазерной записи их дифракционной структуры, которая обеспечивает формирование интерферограмм с минимальными паразитными искажениями. В частности, для уменьшения вариаций контраста формируемой интерферограммы предложено осуществлять модуляцию локального коэффициента пропускания структуры КСГ путём модуляции скважности дифракционных зон. Обсуждены возможности применения термохимической лазерной технологии записи на плёнках титана и хрома для изготовления высокоапертурных голограмм с относительным отверстием f/1 и более.
DOI: 10.15372/AUT20200204 |
