ТЕРАГЕРЦОВЫЙ ВИЗУАЛИЗАТОР НА ОСНОВЕ ТГц-ИК-КОНВЕРТЕРА
"А.Г. Паулиш1,2, Б.Н. Новгородов1, С.В. Хрящев1, С.А. Кузнецов1,3"
"1Конструкторско-технологический институт прикладной микроэлектроники, 630090, г. Новосибирск, просп. Академика Лаврентьева, 2/1 paulish63@ngs.ru 2Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. К. Маркса, 20 3Новосибирский государственный университет, 630090, г. Новосибирск, ул. Пирогова, 2"
Ключевые слова: терагерцовое излучение, детекторы терагерцового изображения, конверсия ТГц, ИК, обработка изображения, terahertz radiation, terahertz image detectors, THz-to-IR conversion, image processing
Страницы: 56-63 Подраздел: АНАЛИЗ И СИНТЕЗ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ
Аннотация
Предложена и исследована новая система ТГц-визуализатора для регистрации изображе- ния в терагерцовом (ТГц) диапазоне с использованием конверсии ТГц-излучения в тепловое ИК-излучение. Конвертер ТГц-ИК состоит из ультратонкого резонансного ТГц- поглотителя (метапоглотителя), на обратную сторону которого нанесён эмиссионный слой с коэффициентом эмиссии, близким к единице. Поглощение ТГц-излучения приводит к нагреванию конвертера, которое регистрируется ИК-камерой со стороны эмиссионного слоя. Малая толщина конвертера (более чем в 50 раз меньше рабочей длины волны ТГц- излучения) определяет его малую теплоёмкость, что повышает чувствительность и быст родействие визуализатора. Оптимизация оптической схемы ТГц-визуализатора, изготовление разрезов в структуре конвертера для уменьшения блюминга и увеличения отклика, методика обработки ИК-изображения, повышающая отношение сигнал/шум, позволили обеспечить чувствительность ТГц-визуализатора на уровне чувствительности тепловых детекторов в ИК-диапазоне 8-12 мкм.
DOI: 10.15372/AUT20190108
|