Издательство СО РАН

Издательство СО РАН

Адрес Издательства СО РАН: Россия, 630090, а/я 187
Новосибирск, Морской пр., 2

soran2.gif

Baner_Nauka_Sibiri.jpg


Яндекс.Метрика

:
:
 
Авторы:
Год выпуска:  до 
Ключевые слова:
   

Метод эллипсометрии для исследования наноразмерных пленок диэлектриков, полупроводников и металлов

Свиташева С.Н.
Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2019 г., ISBN 978-5-7692-1643-5

Интенсивное развитие оптической эллипсометрии обусловлено тем фактом, что изменение состояния поляризации светового луча весьма чувствительно к состоянию этой поверхности. Оптическая эллипсометрия на глазах одного поколения исследователей превратилась из лабораторной экзотики в один из основных методов контроля; и внесла серьезный вклад в развитие цифровых технологий. Исследования, начатые Малюсом (1808 г.), Брюстером (1815 г.) , Друде (1889 г.), Релеем (1899 г.) и Борном (1926) сыграли значительную роль в развитии классической теории света. Кизель В.А. в своей книге «Отражение света» пишет: «Часто говорят, что закон отражения света древнейший и простейший из всех законов оптики. Если первое утверждение не вызывает сомнений, то простота закона – лишь кажущаяся; более серьезный его анализ выявляет ряд сложных вопросов, не полностью разрешенных и по сей день». При внешней простоте методов оптической эллипсометрии, грамотное и эффективное их использование требует весьма глубоких знаний, как в области оптики, так и в области математики.
Предлагаемая вниманию читателя книга будет полезна именно для молодого поколения исследователей и разработчиков, которым еще предстоит внести свой вклад в развитие оптической эллипсометрии.

Cделать заявку